日本asahi-spectra光學式膜厚計 OMD-1000
分類: 日本asahi-spectra光學機器
發布時間: 2023-03-14 11:56
特長
集成光譜儀的緊湊型設計
改善抗噪性可實現高度可靠的膜厚監測(靜電放電測試耐壓 ±5 kV)
可以通過來自PC的命令自動控制
通過將控制器集成到接收器主體中,實現了高性價比。
型式 | OMD-1000 |
光譜儀類型 | Czerny-Turner 型單色 |
波長范圍 |
保證范圍:380 至 900 nm 工作范圍:350 至 1100 nm |
波長分解能 |
狹縫 0.5mm:4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm:8.3nm [546nm] |
波長精度 | ±1.0納米 |
最小波長饋電 | 0.1納米 |
外部控制 | RS232C |
外部出力端子 | 0 至 2 V DC(滿刻度) |
采樣間隔 | 100ms以上 |
靜電放電測試耐壓 | ±5kV (實際8kV) |
光源 | 12V100W鹵素燈 |
光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
輸入電壓 | AC100V 50/60Hz |
允許輸入電壓 | AC85~132V |
皮相電力 | 340VA以下 |
使用環境 |
溫度 10~35℃ 濕度 20~80% |